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凈化車間的主要作用

華銳凈化 / 2020-04-07 10:22:07 / 閱讀

凈化車間的主要功能是控制產(chǎn)品(如硅片)接觸的產(chǎn)品的潔凈度和溫度和濕度,使產(chǎn)品可以在良好的環(huán)境空間內(nèi)生產(chǎn)和制造。凈化工程指控制產(chǎn)品 (如硅芯片等) 所接觸大氣的潔凈度及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造。此環(huán)境空間的設計施工過程即可稱為凈化工程。無塵室凈化工程中各級空氣潔凈度的空氣凈化處理,均應采用初效、中效、高效空氣過濾器三級過濾。100000級空氣凈化處理,可采用亞高效空氣過濾器代高效空氣過濾器。無塵車間目前級別最高的當屬航天航空的航空倉,基本是屬于1級,屬于特殊領域,面積相對較小。另外對級別要求較高的是生化實驗室和高精納米材料生產(chǎn)車間,物聯(lián)網(wǎng)芯片的發(fā)展將是未來需求的一大方向。這個空間被稱為凈化車間。根據(jù)國際慣例,無塵凈化水平主要基于每立方米空氣中顆粒直徑大于分割標準的空氣中顆粒數(shù)。也就是說,所謂的無塵不是100%沒有一點灰塵,而是控制在一個非常小的單位。當然,與普通粉塵相比,本標準中的防塵顆粒已經(jīng)非常小,但對于光學結構,即使是一點點灰塵也會產(chǎn)生很大的負面影響,因此在光學建筑產(chǎn)品的生產(chǎn)中也是如此。潔凈室是不可避免的要求。

凈化車間的粉塵總量控制在每立方米3500微米以下,目前符合國際A級無塵標準,凈化車間芯片級生產(chǎn)和加工所采用的無塵標準高于A級,這種高標準主要用于一些較高的芯片生產(chǎn)。5μm以下的粉塵量嚴格控制在每立方米1000塵以內(nèi),在工業(yè)中俗稱1K級。

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