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潔凈級(jí)別 |
塵粒最大允許數(shù) |
微生物最大允許數(shù) |
ISO級(jí)數(shù) |
||
≥0.5μm |
≥5μm |
浮游菌/m³ |
塵降菌/皿 |
||
100級(jí) |
3500 |
0 |
5 |
1 |
ISO,5級(jí) |
100級(jí) |
3500 |
0 |
5 |
1 |
ISO,5級(jí) |
100級(jí) |
3500 |
0 |
5 |
1 |
ISO,5級(jí) |
100級(jí) |
3500 |
0 |
5 |
1 |
ISO,5級(jí) |
潔凈等級(jí) |
百級(jí) | 千級(jí) | 十萬(wàn)級(jí) | 三十萬(wàn)級(jí) |
≥0.5μm(個(gè)/m³) | ≤3500 | ≤35000 | ≤350000 | ≤1050000 |
≥0.5μm(個(gè)/m³) | ≤0 | ≤2000 | ≤20000 | ≤60000 |
≥0.5μm(個(gè)/m³) | ≤0 | ≤2000 | ≤20000 | ≤60000 |
≥0.5μm(個(gè)/m³) | ≤0 | ≤2000 | ≤20000 | ≤60000 |
靜壓差 | 相鄰不同級(jí)別空間的靜壓差絕對(duì)值應(yīng)>5pa;潔凈室與室外的靜電差>10pa | |||
照度 | 一般宜為300LX,若工藝上有特殊要求則照工藝要求 | |||
噪音 | ≤65db(A) | |||
溫度 | 一般為18℃~26℃ | |||
相對(duì)濕度 | 一般為45%~65% | |||
換氣次數(shù) | ≥100(次/h) | ≥50(次/h) | ≥20(次/h) | ≥10(次/h) |